متالوگرافی با میکروسکوپ الکترونی روبشی

میکروسکوپ الکترونی روبشی که به آن Scanning Elecron Microscope   یا به اختصار SEM گویند، یکی از انواع بسیار معروف میکروسکوپ های الکترونی است که خصوصا کاربردهای بسیاری در فناوری نانو پیدا کرده است. نخستین تلاش ها در زمینه ی توسعه ی میکروسکوپ های روبشی به سال 1935 باز می ­ گردد که  ماکس نول (Max Knoll)  در آلمان پژوهش هایی در زمینه ی پدیده های الکترونیک نوری انجام داد و تصویری را بر اساس کانتراست کانالی الکترونی (electron chanelling contrast)  از فولاد سیلیسیمی به دست آورد. مانفرد وان آردن     (ManfredvonArdenne)  تحقیقات بیشتری را بر روی اصول فیزیکی SEM و برهمکنش آن با نمونه انجام داد و توانست در سال 1938 با اضافه کردن سیم پیچ های روبشی به یک TEM ، میکروسکوپ الکترونی عبوری ـ روبشی بسازد. با اینحال دستگاه او از نظر عملی مورد استقبال قرار نگرفت. استفاده از SEM برای مطالعه ی نمونه های ضخیم غیرشفاف اولین بار توسط ژورکین (Zworykin)  و همکاران در سال 1942 در ایالات متحده ی آمریکا انجام شد. توسعه ی بیشتر SEM توسط پروفسور چارلز ا …